特点:1、1800片(156*156)/小时超大产能。2、采用第三代最新技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落。3、最新全自动补液技术。4、独特的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕。5、成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身。6、彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换。
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